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分體式蒸發(fā)鍍膜儀(可放入手套箱)
型號(hào):
GSL-1700X-SPC-2
產(chǎn)品概述:
GSL-1700X-SPC-2是一款小型臺(tái)式分體式程序控溫蒸發(fā)鍍膜儀,可以觸摸屏設(shè)定程序,精確控制溫度200℃~1500℃,可制備各種金屬薄膜和有機(jī)物薄膜。分體式設(shè)計(jì),可放入手套箱中使用。
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分體式蒸發(fā)鍍膜儀(可放入手套箱) GSL-1700X-SPC-2

產(chǎn)品特點(diǎn)

· φ6英寸的石英腔體,便于清潔和放入樣品

· 安裝有一個(gè)2英寸的樣品臺(tái),且樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn),使所制薄膜更加均勻

· 樣品臺(tái)與蒸發(fā)源之間的距離可調(diào)


基本參數(shù)

· 電源:110V,50/60HZ

· 功率:<800W

· 最高加熱溫度:≤1500℃


真空腔室

· 材質(zhì):高純石英

· 尺寸:外徑φ166*內(nèi)徑φ150*L250mm

· 密封法蘭:  采用金屬鋁制作,采用硅膠密封圈密封

· 一個(gè)快速擋板安裝在法蘭上

· 一個(gè)φ175*267mm不銹鋼網(wǎng)罩住整個(gè)石英腔體

· 真空度:≤7.5×10-3 Torr (采用雙極旋片真空泵), ≤5×10-3 Pa(采用渦旋分子泵)

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基片臺(tái)

· 基片臺(tái)尺寸:φ2″

· 可放入基片最大尺寸:φ50mm 

· 基片臺(tái)旋轉(zhuǎn)速度:5rpm/min

· 基片臺(tái)與蒸發(fā)源之間距離:30-80mm(可調(diào))


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溫控及加熱源

· 采用鎢絲籃作為發(fā)熱源,并且配有專用的氧化鋁坩堝,熱電偶安裝在坩堝底部,便于溫度測量和控住

· 采用S型熱電偶(工作溫度為200℃-1500℃);

· 控溫方式:手動(dòng)控溫和程序控溫(通過“手動(dòng)/自動(dòng)切換開關(guān)”切換)

· 手動(dòng)控溫:通過旋轉(zhuǎn)面板上的電流調(diào)節(jié)旋鈕調(diào)節(jié)電流值,從而調(diào)節(jié)溫度

· 程序控溫:安裝了一個(gè)溫控儀表,可設(shè)置30段升降溫程序,控溫精度為±1℃,在觸摸屏上設(shè)置升降問程序,控制加熱。

· 溫度控制器的時(shí)間設(shè)置以分鐘為單位,建議將升溫/降溫速率限制在2秒0.5℃/s左右,低溫下使用時(shí)建議升溫速率≤5℃/ min

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氣氛

· 法蘭蓋上有一個(gè)φ6.35mm的進(jìn)氣口,可向真空腔室中通入惰性氣體,對(duì)腔體進(jìn)行清洗,也可通入反應(yīng)氣體,進(jìn)行反應(yīng)蒸發(fā)鍍膜

· 法蘭上含有一個(gè)旋鈕式的放氣閥

· 設(shè)備主體左側(cè)有一個(gè)KF25接口,接口上安裝了一個(gè)不銹鋼三通,三通的KF16接口安裝了一個(gè)數(shù)顯真空計(jì),三通的KF25接口通過波紋管與真空系統(tǒng)連接


饋通

· 標(biāo)配兩個(gè)卡箍轉(zhuǎn)接頭連接在手套箱外部的接頭上,一個(gè)用于用于連接真空泵,一個(gè)用于連接鍍膜儀的饋通組件

圖片19.png 圖片20.png  

手套箱(選配)

· 尺寸:約2450mm(長)×1870mm(高;含支架)×840mm(寬)

· 材質(zhì):不銹鋼結(jié)構(gòu)﹝Type 304﹞, 厚度3mm ;

· 手套:手套口8英寸,厚度0.4mm丁基〔butyl〕手套,聚四氟材料手套口(防腐蝕),口徑220mm;

· 窗口:傾斜設(shè)計(jì)的操作面,可開啟式璃板前窗口,方便大件實(shí)驗(yàn)設(shè)備的取放,耐磨、抗腐蝕、透光性好、密封圈采用硅膠密封圈。前窗口為可開啟式;

· 箱體不可抽真空;

· 箱體配置有防反射的照明節(jié)能燈,光線柔和;

· 箱體內(nèi)設(shè)有多孔電源接線板一個(gè)(電源:220V±10%  50Hz±10%);

· 箱體可設(shè)置5個(gè)標(biāo)準(zhǔn)KF-40接口,以便于接入液體、氣體饋通


真空系統(tǒng)(選配)


· 型號(hào):VRD-8

· 電源:AC220V/50Hz

· 功率:0.4KW

· 極限真空度:5.0*10-1Pa(無負(fù)載)

· 抽氣速率:2.2L/s

· 抽氣口:KF25接口

88.jpg 

儀器外觀尺寸

· 蒸鍍部分外形尺寸 :330*260*600mm

· 加熱控制系統(tǒng)外形尺寸:550*400*340mm

圖片21.jpg 

凈重

·約50kg


質(zhì)保

一年保修,終身技術(shù)支持

特別提示:1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內(nèi)。

     2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損失不在保修范圍內(nèi)。


注意事項(xiàng)

· 蒸鍍電流不宜大于25A。

· 蒸鍍儀在工作中嚴(yán)禁旋開試樣室充氣閥充氣、關(guān)閉真空泵。

· 蒸鍍儀最高工作溫度不得超過1500℃(長時(shí)間工作溫度)

· 如誤將控溫儀表設(shè)為手動(dòng)狀態(tài),程序?qū)⒉荒苷_\(yùn)行。

· 此設(shè)備儀表程序時(shí)間為秒,200℃之前升溫速度不宜大于5度/分鐘,整體升溫速率大約在2秒每度。

· 鎢絲藍(lán)必須在真空狀態(tài)下(<5Pa)才能通電加熱,否則會(huì)被氧化。


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